hmds熏蒸機,hmds熏蒸烤箱的用途:hmds熏蒸機,hmds熏蒸烤箱通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
hmds熏蒸機,hmds熏蒸烤箱的特點:
1、hmds熏蒸機安全性高、更加環保,HMDS是有毒化學藥品,人吸入后會出現反胃、嘔吐、腹痛、刺激、呼吸道等,由于整個過程是在密閉的環境下完成的,所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機,所以也不會對環境造成污染。
2、hmds熏蒸機效率高,液態涂布是單片操作,而本系統一次可以處理多達8盒(4寸)的晶片,甚至更多
3、hmds熏蒸烤箱預處理性能好,由于是在經過數次的氮氣置換再進行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在容器里先經過100℃-160℃的去水烘烤,再接著進行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有著更好的處理效果。
4、均勻性好,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態涂布不可比擬更好的均勻性。
5、hmds熏蒸烤箱更加智能化,智能型的程式設定,一鍵完成作業。HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。當HMDS液位過低時發出報警提示。
hmds熏蒸機,hmds熏蒸烤箱的技術規格:
1.設備名稱 | HMDS預處理系統 |
2、設備型號 | JS-HMDS90 |
3、設備主要技術參數 |
3.1 工作室尺寸 | 450×450×450mm(可修改) |
3.2 產品架 | 2層 |
3.3 溫度范圍 | RT+10-250℃ |
3.4 溫度分辨率 | 0.1℃ |
3.5 溫度波動度 | <±1℃ |
3.6 真空度 | ≤133pa |
3.7 潔凈度 | class 100,設備采用無塵材料,適用100級光刻間凈化環境 |
3.8電源及總功率 | AC 220V±10% 50HZ 總功率 約2.5KW |
3.9 控制儀表 | 人機界面 |
3.10顯示分辨率 | 時間:0.1min |
3.11真空泵 | 油泵或進口干泵 |
關鍵詞:
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上海雋思實驗儀器有限公司主要生產HMDS預處理系統,HMDS烤箱,潔凈烤箱,無氧烤箱,無塵無氧固化烤箱,LED烤箱,UV固化烤箱,隧道烘箱,黑蒜發酵設備、橡塑檢測設備、電線電纜檢測設備、半導體設備及實驗室儀器的高新技術型企業,具有很強的自主開發、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環保、農業,建筑,節能、航空航天等行業;多年來,公司以“真摯的服務、的品質”為宗旨,為國內外廣大用戶提供了周到的售、售中、售后服務。贏得了國內外客戶的一致好評,更為我們業務的快速發展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精,更完善!能夠完成儀器儀表工程產品配套和維修服務!
主要業務項目有HMDS預處理系統,HMDS烘箱,無氧化烘箱,真空無氧烤箱,氮氣烘箱,潔凈烤箱,無氧烤箱,無塵無氧固化烤箱,高精度加熱臺,精密恒溫熱板,LED烤箱,PI/CPI/BCB/PBO/LCP固化烤箱,半導體工藝設備。黑蒜加工設備,黑蒜發酵設備,超低溫試驗箱,超低溫沖擊試驗箱,-150度高低溫試驗箱,恒溫恒濕試驗箱,真空烘箱,熱風真空烤箱,環境檢測儀器,實驗室研究儀器,橡塑檢測儀器,電纜檢測儀器設備等。