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hmds熏蒸機,hmds熏蒸烤箱

企業檔案

上海雋思實驗儀器有限公司

12 營業執照已上傳

企業類型:生產商

公司地址:上海奉賢臨海工業區818號

主營產品:HMDS預處理系統,智能HMDS烘箱,無氧化烘箱,真空無氧烤箱,氮氣烘箱,潔凈烤箱,無氧烤箱,無塵無氧固化烤箱,高精度加熱臺,精密恒溫熱板,烤膠臺,LED烤箱,PI/CPI/BCB/PBO/LCP固化烤箱,氮氣柜,半導體工藝設備。黑蒜加工設備,黑蒜發酵設備,超低溫試驗箱,超低溫沖擊試驗箱,-150度高低溫試驗箱,恒溫恒濕試驗箱,真空烘箱,熱風真空烤箱,環境檢測儀器,實驗室研究儀器,橡塑檢測儀器,電纜檢測儀器設備等。

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產品簡介

hmds熏蒸機,hmds熏蒸烤箱通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

詳細內容

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公司簡介

 hmds熏蒸機,hmds熏蒸烤箱的用途:

hmds熏蒸機,hmds熏蒸烤箱通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

hmds熏蒸機,hmds熏蒸烤箱的特點:

1、hmds熏蒸機安全性高、更加環保,HMDS是有毒化學藥品,人吸入后會出現反胃、嘔吐、腹痛、刺激、呼吸道等,由于整個過程是在密閉的環境下完成的,所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機,所以也不會對環境造成污染。 

2、hmds熏蒸機效率高,液態涂布是單片操作,而本系統一次可以處理多達8盒(4寸)的晶片,甚至更多

3、hmds熏蒸烤箱預處理性能好,由于是在經過數次的氮氣置換再進行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在容器里先經過100℃-160℃的去水烘烤,再接著進行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有著更好的處理效果。

4、均勻性好,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態涂布不可比擬更好的均勻性。

5、hmds熏蒸烤箱更加智能化,智能型的程式設定,一鍵完成作業。HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。當HMDS液位過低時發出報警提示。

hmds熏蒸機,hmds熏蒸烤箱的技術規格:

1.設備名稱

  HMDS預處理系統

2、設備型號

  JS-HMDS90

3、設備主要技術參數                                                          

3.1 工作室尺寸

  450×450×450mm(可修改)

3.2 產品架

  2層

3.3 溫度范圍

  RT+10-250℃

3.4 溫度分辨率

 0.1℃

3.5 溫度波動度

 <±1℃

3.6 真空度

 ≤133pa

3.7 潔凈度

class 100,設備采用無塵材料,適用100級光刻間凈化環境

3.8電源及總功率

   AC 220V±10%     50HZ       總功率  約2.5KW    

3.9 控制儀表

  人機界面

3.10顯示分辨率

 時間:0.1min

3.11真空泵

 油泵或進口干泵

 


關鍵詞:hmds熏蒸機  hmds熏蒸烤箱  

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