前烘潔凈烘箱，軟烘充氮烘箱涂膠后，晶片須經過一次烘烤，稱之軟烘或前烘。工藝作用是除去膠中大部分溶劑并使膠的曝光特性固定。通常，軟烘時間越短或溫度越低會使得膠在顯影劑中的溶解速率增加且感光度更高，但對比度會有降低。實際上軟烘工藝需要通過優化對比度而保持可接受感光度的試湊法用實驗確定，典型的軟烘溫度是90～100℃，時間從用熱板的30秒到用烘箱的30分鐘。

    在晶片顯影后，為了后面的工藝，如離子注入和等離子體刻蝕，也須對晶片進行高溫烘烤，稱之后烘或硬烘。這一工藝目的在于：減少駐波效應；激發化學增強光刻膠PAG產生的酸與光刻膠上的保護基團發生反應并移除基團使之能溶解于顯影液。

    JS-DHB180B無塵烘箱系用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤，強制送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到高精度溫度控制。

前烘潔凈烘箱，軟烘充氮烘箱特點：
1.在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
3.采平面水平由后向前送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

4.強制送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到高溫度控制精度。

 前烘潔凈烘箱，軟烘充氮烘箱技術參數：

  無塵等級：Class 100;     

  溫度范圍： 60～ +300℃；
  溫度均勻度：200℃±2℃;    

  溫度波動度：±0.5℃（空載）        
  溫控精度：±0.1℃;        

  工作尺寸：600×600×500mm         
  電源：380v , 50Hz，10KW    

  網板：2塊（高度可調節)

        上海雋思實驗儀器有限公司主要生產HMDS預處理系統，HMDS烤箱，潔凈烤箱，無氧烤箱，無塵無氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜發酵設備、橡塑檢測設備、電線電纜檢測設備、半導體設備及實驗室儀器的高新技術型企業，具有很強的自主開發、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環保、農業，建筑，節能、航空航天等行業；多年來，公司以“真摯的服務、的品質”為宗旨，為國內外廣大用戶提供了周到的售、售中、售后服務。贏得了國內外客戶的一致好評，更為我們業務的快速發展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精，更完善！能夠完成儀器儀表工程產品配套和維修服務！
       主要業務項目有HMDS預處理系統，HMDS烘箱，無氧化烘箱，真空無氧烤箱，氮氣烘箱，潔凈烤箱，無氧烤箱，無塵無氧固化烤箱，高精度加熱臺，精密恒溫熱板，LED烤箱，PI/CPI/BCB/PBO/LCP固化烤箱，半導體工藝設備。黑蒜加工設備，黑蒜發酵設備，超低溫試驗箱，超低溫沖擊試驗箱，-150度高低溫試驗箱，恒溫恒濕試驗箱，真空烘箱，熱風真空烤箱，環境檢測儀器，實驗室研究儀器，橡塑檢測儀器，電纜檢測儀器設備等。