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OX400橫河電機Yokogawa臺式微量氧氧氣分析儀

  • 市場價格: 電議
  • 產品型號:
  • 更新時間: 2015/3/25 20:44:34
  • 生產地: 日本
  • 訪問次數: 489次
  • 公司名稱: 上海暉盈實業有限公司

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企業類型:代理商

公司地址:上海市吳寶路27弄11號102室

主營產品:儀器儀表

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產品簡介

OX400可用于控制和監視各種半導體應用,并控制環境,空氣泄漏入惰性氣體及其他過程。用于半導體擴散爐和烘干爐,以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制,用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度,以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產工藝中氧氣濃度的測量,測量氧氣濃度

詳細內容

詳細內容

公司簡介

 

OX400的主要技術參數:

測量對象
惰性氣體中的氧氣濃度(易燃性氣體、腐蝕性氣體或液體(包括水蒸氣)除外)
測量系統
氧化鋯系統
采樣方法
泵式、抽提式等
樣氣條件
流速:200±25ml/min(僅適用于傳感器)
溫度:0~50℃(無結露)
濕度:無結露
壓力:0~300PaG
最大容許壓力:30kPaG
測量量程
0~10ppm O2至0~100vol% O2
輸出量程
自動:
0~10ppm,0~100ppm,0~1000ppm,0~1%,0~10%,0~100%(默認)
固定:
設為0~10ppm,0~100ppm,0~1000ppm,0~1%,0~10%,或0~100%
部分:
可設置下限值或上限值
模擬輸出
2路輸出,第一路:4~20mA DC(最大負載電阻550Ω),第二路:可選為0~1,0~5,0~10V DC(負載電阻:10kΩ或更大)
接點輸出
報警輸出2點:
錯誤接點,O2濃度報警接點
量程范圍輸出1點:
接點輸出
多選擇器(選配件):
流路切換接點輸出和測量中流路信息接點輸出
接點輸入
1點:采樣氣體吸入泵的遠程ON/OFF
自診斷
故障:
傳感器錯誤,加熱器溫度錯誤,溫度傳感器斷開,設備溫度錯誤,CPU錯誤,FAN停止
報警:
加熱器不穩定,傳感器錯誤,電動勢異常,非對稱電壓錯誤錯誤,標定錯誤,傳感器電阻錯誤,O2濃度上/下限,超限
串口通信
RS-232,38400 bps
標定方法
(1)3點:10ppm,1000ppm,空氣,(2)2點:可設定為零點氣和量程氣標定,(3)1點,(4)空氣標定
暖機時間
20分以內
電源
100~120V AC/220~240V AC,50/60Hz
功耗
100~120V AC,200VA 最大,220~240V AC,400 VA 最大
尺寸
213 (W) x 132 (H) x 約375 (D) mm
質量
約5kg
管線連接
氣體入口:Rc1/4或1/4NPT內螺紋
氣體出口:Rc1/4或1/4NPT內螺紋
環境條件
安裝條件:
室內,盤裝或壁裝,非易燃區域
環境溫度:
0~40℃,無結露
環境濕度:
5~85%RH
儲存溫度:
-5~50℃
重復性
±1%F.S.(10,100,1000 ppm,1%,10%或100%)
線性
±2%F.S.
±3%F.S.(0~100ppm或更低)
響應時間
90%響應
10秒內(0~1%或更高)
30秒內(小于0~1%)
漂移
±2%F.S./周


關鍵詞:OX400  橫河  Yokogawa  微量氧  

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