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薄膜應力測試儀

  • 市場價格: 1
  • 產品型號: SUP
  • 更新時間: 2014/3/1 21:26:13
  • 生產地: 中國大陸
  • 訪問次數: 371次
  • 公司名稱: 北京飛凱曼科技有限公司

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企業類型:代理商

公司地址:北京市大興區華佗路9號院熙兆大廈2號樓11層

主營產品:霍爾效應測試儀,塞貝克熱電效應測試儀,變溫(高低溫)真空探針臺,鉺玻璃,鉺玻璃激光器,非線性光學元件,紅外光學元件,紫外光學元件,飛秒光學元件,普克爾盒,普克爾盒驅動,光束整形元件

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產品簡介

薄膜應力測試儀,又名薄膜殘余應力測試儀或薄膜應力儀,是專門用于測試和研究薄膜材料和薄膜制備工藝的必不可少的工具。本公司提供的薄膜應力測試儀采用優化的光杠桿的原理,根據我們科研工作者長期的扎實的理論研究和實際工藝探索,研制的一套適用于各種薄膜應力測試的裝置。近年來,經過國內知名院校和科研單位的實際使用和驗證,該儀器具有良好的重復性和準確性,是一款廣泛應用于各領域薄膜制備和材料研究的高性價比的儀器。

詳細內容

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公司簡介

北京飛凱曼公司提供薄膜應力測試儀系統。薄膜應力測試儀又名薄膜殘余應力測試儀或薄膜應力儀,是專門用于測試和研究薄膜材料和薄膜制備工藝的必不可少的工具。

薄膜中應力的大小和分布對薄膜的結構和性質有重要的影響, 可導致薄膜的光、電、磁、機械性能改變. 例如, 薄膜中的應力是導致膜開裂或與基體剝離的主要因素, 薄膜中存在的殘余應力很多情況下影響MEMS 器件結構的特性, 甚至嚴重劣化器件的性能, 薄膜的內應力對薄膜電子器件和薄膜傳感器的性能有很大的影響.因此, 薄膜應力研究在薄膜基礎理論和應用研究中起到重要的作用, 薄膜應力的測量備受關注。再例如在硬質薄膜領域,金屬氮化物、氧化物、碳化物等硬質薄膜因具有優越的耐磨、耐腐蝕等特性,被廣泛應用于金屬材料的防護.硬質薄膜的主要制備方法包括物理氣相沉積和化學氣相沉積技術.研究發現,沉積態硬質薄膜中存在較大的殘余應力,而且沿層深分布不均勻;該殘余應力對硬質薄膜一基體系統的性能影響很大-lJ_精確地測量硬質薄膜的殘余應力,系統研究它與沉積工藝的關系,對優化硬質薄膜基體系統的性能具有重要的意義.


本公司提供的薄膜應力測試儀采用優化的光杠桿的原理,根據我們科研工作者長期的扎實的理論研究和實際工藝探索,研制的一套適用于各種薄膜應力測試的裝置。近年來,經過國內知名院校和科研單位的實際使用和驗證,該儀器具有良好的重復性和準確性,是一款廣泛應用于各領域薄膜制備和材料研究的高性價比的儀器。

產品功能和特點:

自動采集分析數據功能;

自動掃查樣品邊緣,定位樣品中心;

自動計算出曲率半徑值和薄膜應力值;

對原始表面不平直的基片表面的薄膜,可采取原位測量的方式,計算薄膜應力值。

技術參數:

1.原理:曲率法Stoney公式

2.薄膜應力測量范圍:1×10-2GPa1×102GPa;

3.曲率半徑測試范圍:0.3-60m

4.曲率半徑測試誤差:﹤±1%

5.薄膜應力計算誤差:﹤±2.5%

6.測試平臺行程:100mm

7.控制:獨立PC及控制軟件

8.儀器尺寸:1500x1500x430mm

詳細信息請咨詢我們。  @pcm-bj.com   :


關鍵詞:薄膜應力測試儀  薄膜應力儀  應力測試儀  

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