北京飛凱曼公司提供薄膜應力測試儀系統。薄膜應力測試儀又名薄膜殘余應力測試儀或薄膜應力儀,是專門用于測試和研究薄膜材料和薄膜制備工藝的必不可少的工具。
薄膜中應力的大小和分布對薄膜的結構和性質有重要的影響, 可導致薄膜的光、電、磁、機械性能改變. 例如, 薄膜中的應力是導致膜開裂或與基體剝離的主要因素, 薄膜中存在的殘余應力很多情況下影響MEMS 器件結構的特性, 甚至嚴重劣化器件的性能, 薄膜的內應力對薄膜電子器件和薄膜傳感器的性能有很大的影響.因此, 薄膜應力研究在薄膜基礎理論和應用研究中起到重要的作用, 薄膜應力的測量備受關注。再例如在硬質薄膜領域,金屬氮化物、氧化物、碳化物等硬質薄膜因具有優越的耐磨、耐腐蝕等特性,被廣泛應用于金屬材料的防護.硬質薄膜的主要制備方法包括物理氣相沉積和化學氣相沉積技術.研究發現,沉積態硬質薄膜中存在較大的殘余應力,而且沿層深分布不均勻;該殘余應力對硬質薄膜一基體系統的性能影響很大-lJ_精確地測量硬質薄膜的殘余應力,系統研究它與沉積工藝的關系,對優化硬質薄膜基體系統的性能具有重要的意義.
本公司提供的薄膜應力測試儀采用優化的光杠桿的原理,根據我們科研工作者長期的扎實的理論研究和實際工藝探索,研制的一套適用于各種薄膜應力測試的裝置。近年來,經過國內知名院校和科研單位的實際使用和驗證,該儀器具有良好的重復性和準確性,是一款廣泛應用于各領域薄膜制備和材料研究的高性價比的儀器。
產品功能和特點:
自動采集分析數據功能;
自動掃查樣品邊緣,定位樣品中心;
自動計算出曲率半徑值和薄膜應力值;
對原始表面不平直的基片表面的薄膜,可采取原位測量的方式,計算薄膜應力值。
技術參數:
1.原理:曲率法Stoney公式
2.薄膜應力測量范圍:1×10-2GPa到1×102GPa;
3.曲率半徑測試范圍:0.3-60m
4.曲率半徑測試誤差:﹤±1%
5.薄膜應力計算誤差:﹤±2.5%
6.測試平臺行程:100mm
7.控制:獨立PC及控制軟件
8.儀器尺寸:1500x1500x430mm
詳細信息請咨詢我們。 @pcm-bj.com :
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北京飛凱曼科技有限公司為多家國內外高科技儀器廠家在中國地區代理商。飛凱曼科技公司一貫秉承『誠信』、『品質』、『服務』、『創新』的企業文化,為廣大中國用戶提供最先進的儀器、設備,最周到的技術、服務和完美的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發展的中國,光電技術、材料科學、光電子科學與技術、半導體等等領域,都需要與歐美發達國家完全接軌的儀器設備平臺來實現。飛凱曼科技公司有幸成長在這個科技創造未來的年代,我們愿意化為一座橋梁,見證中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長。
主要產品:
1.飛秒激光元件
飛秒激光反射鏡、飛秒激光透鏡、飛秒激光棱鏡、飛秒偏振光學器件、飛秒非線性激光晶體
2.非線性光學和激光晶體(紅外晶體)
BBO晶體, LBO晶體, KTP晶體, KDP晶體, DKDP晶體, LiIO3晶體(碘酸鋰晶體), LiNbO3晶體(鈮酸鋰晶體), MgO:LiNbO3晶體, AGS晶體 (AgGaS2晶體), AGSe晶體 (AgGaSe2晶體), ZGP (ZnGeP2) 晶體, GaSe晶體, CdSe晶體等。Nd:YAG晶體, Nd:YVO4晶體, Nd:KGW晶體, Nd:YLF晶體, Yb:KGW晶體, Yb:KYW晶體, Yb:YAG晶體, Ti:Sapphire晶體, Dy3+:PbGa2S4晶體等
晶體恒溫爐、晶體溫控爐等
3.普克爾斯盒及驅動
KTP普克爾斯盒、DKDP普克爾斯盒、BBO普克爾斯盒、普克爾盒驅動和電源、高重復頻率普克爾盒驅動、高壓普克爾盒驅動電源、專用于閃光燈泵激光器調Q用普克爾盒驅動、普克爾斯盒支架等
4. Nd:YAG激光器元件
Nd:YAG激光反射鏡、Nd:YAG激光棱鏡、Nd:YAG激光窗口、Nd:YAG激光偏振片、Nd:YAG激光晶體等
5.激光器和激光器模塊
連續半導體激光器、連續DPSS激光器、調Q DPSS激光器、超快光纖激光器等
6.光學元器件
光學材料、光學鍍膜、介質鏡、金屬鏡、激光器窗口、棱鏡、光學濾光片、光學柱面鏡、偏振鏡、紫外和紅外光學元件
7.光學整形系統
高斯光轉平頂光光束整形系統、擴束鏡、F-Theta鏡(聚焦鏡)、望遠鏡、可調激光衰減器、可變光圈、精密空間濾光片、束流捕捉器
8.光學精密位移機構
防震桌、光學支架、光學導軌、固定座、光學固定、光學定位、傳輸和定位臺、自動定位和控制器等
9.半導體激光器
高功率半導體激光器、波長穩定的半導體激光器、單頻半導體激光器、光纖耦合半導體激光器、光纖激光器、波長可調諧單頻激光器
10.鉺玻璃
摻鉺磷酸鹽激光玻璃、鉺玻璃、鉺鐿共摻激光玻璃、1550nm激光器、人眼安全激光器
11. DPSSL激光諧振腔設計軟件和數據庫
12. F-P掃描干涉儀
13.應力測試儀
日本UNIOPT公司應力雙折射測量系統、光彈性模量測試系統、應力測試系統、磁光克爾效應(MOKE)測試儀、薄膜殘余應力測試儀。應力雙折射測試儀、應力測試儀、應力分析儀、偏振相機
14.精密劃片機
日本APCO公司手動精密劃片機、自動精密劃片機。日本NDS公司半自動自動劃片機、貼膜機、UV解膠機、清洗機、晶圓劃片(切割)刀、電疇劃片刀、陶瓷劃片刀、金屬燒結劃片刀、樹脂劃片刀等
15.材料表征儀器
霍爾效應測試儀、變溫霍爾效應測試儀、低溫霍爾效應測試儀、塞貝克效應測試儀、低溫探針臺、變溫探針臺、橢偏儀