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詳細內容
儀器特點
1) 多頻率壓痕測試 – 這種技術對于塑料高分子、MEMs等黏彈性受頻率影響的材料變形研究非常有用，提供材料納米壓痕試驗全頻率范圍的黏彈性響應；
2) 深至15nm的硬度&楊氏模量測試；
3) Windows XP環境下自動操作；
4) Spherical, Vickers及Berkovich納米壓痕測試；
5) 材料黏彈性的動態機械分析；
6) 潛變、疲勞、斷裂剛性測試；
7) 壓痕的分布地圖繪制(Mapping)；
8) 選配的高低溫測試；
9) AFM/SPM成像用于納米尺度壓痕圖像觀測；
10) 可以升級增加納米(微米)劃痕、微米硬度測試模塊功能；
納米壓痕試驗儀規格 | |
最大壓痕深度 | 4µm & 25µm自動距離修正(1000µm可選配) |
深度分辨率(理論) | 0.006nm |
深度分辨率(防振臺＊) | 0.5nm |
最大負載 | 50mN & 500mN自動距離修正 |
負載分辨率(理論) | 0.08µN |
負載分辨率(防振臺＊) | 1µN |
X-Y運動范圍 | 200 x 100毫米 |
X-Y橫向分辨率 | 0.15µm |
Z向馬達 | 90毫米 |
物鏡鏡頭 | 標準: 10x, 50x, 100x (選配: 5x, 20x) |
＊ 依賴實驗室環境 | |
應用領域
半導體技術(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads)；
存儲材料(磁盤的保護層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護層)；
光學組件(接觸鏡頭、光纖、光學刮擦保護層)；
金屬蒸鍍層；
防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具)；
藥理學(藥片、植入材料、生物組織)；
工程學(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)；
關鍵詞：壓痕測試儀 劃痕測試儀 納米壓痕儀 微米劃痕儀 納米劃痕儀 微米壓痕儀
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