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全自動硅片超聲波清洗機

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企業類型:生產商

公司地址:無錫市北塘區惠錢路嚴家棚廠區

主營產品:超聲波零件清洗機,超聲波工業清洗機,超聲波設備,超音波洗凈機,軸承清洗機

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硅片清洗機

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 硅片超聲波清洗機優點
1硅片經過磨片工序后,一直使硅片處于去離子水中浸泡狀態,這樣在經過清洗機清洗后表面潔凈,在化拋后尤為明顯,化拋后硅片表面相當光澤干凈,使其合格率大大提高;若由于工藝需要測試硅片厚度或電阻率,使其脫離水后,在重新清洗后的硅片化拋時,表面大多數會出現暗花及不明顯的污染痕跡,直觀表面較差。
 。2清洗次數對清洗效果有很大影響,清洗次數多的硅片比清洗次數少的硅片表面光潔,這就要求在以后的探索中如何控制清洗液的時效性,如清洗四英寸硅片達500片時,需及時更換清洗液。
  (3)適當加入有機堿,利用堿的腐蝕性,絡合硅片表面的金屬離子,以加快清洗的速度,提高清洗的效率。   硅片的清洗在半導體制作過程中十分重要,而磨片的清洗是所有清洗工序中最困難的。由于使用了清洗機,通過物理滲透作用,使污染顆粒脫離硅片表面,再通過超聲波清洗的機械作用和化學腐蝕作用,最終去除污染顆粒,達到了清洗硅片的目的。
 

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